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由于质量流量控制器通过测量流体的质量流量来控制流量,因此无需因环境温度、工作压力等的变化而进行修正,实现了高精度、稳定的流体测量和控制。可能的,这是一种可能的装置。在流量计、针阀等基于体积流量的流量控制中,当需要一定程度的准确流量时,需要根据温度、压力等的变化进行修正。质量流量控制器/质量流量计用于需要高精度流量测量和控制的领域,例如半导体和平板显示器,以及分析、燃料电池、液晶、有机EL、生物技术、文化、食品、环境广泛应用于控制、工厂设备、实验设备等所有过程和设备中。Fcon的质量流量控制器/质量流量计采用追求基本性能技术,使其可用于广泛的领域,同时降低成本,提高产品性能和可靠性,设计专门从事基本功能的低价产品.我的目标是制造。
质量流量控制器的原理与结构
如下图所示,质量流量控制器的基本结构由流量传感器、旁路、阀门和控制电路组成。
常用的热敏传感器是电流通过缠绕在不锈钢毛细管上下游两侧的电阻产生热量。当没有气体流动时,上下游电阻器的热量保持平衡,流量输出信号显示为零。
从入口进入的气体被分流到传感器并旁路。当气体流入传感器时,上游侧和下游侧的电阻之间出现温差,失去热平衡,传感器的温度分布发生变化。这种变化被桥式电路捕获并作为流量输出信号取出。比较从外部输入的流量设定信号和传感器的流量输出信号,流量控制阀进行PID运算(比例、积分、微分)使各自的信号电平匹配,阀门自动动作. 由于开度微调,可在始终设定稳定流量的条件下控制流量。
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什么是质量流量控制器
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